厦门半导体芯片制造班

【培训目标】

学员能掌握半导体芯片制造技术的理论知识和实操技能，能独立从事芯片制造的外延、光刻、清洗、蒸发、刻蚀、封装、测试等各核心环节的技术与营运工作。

【课程内容】

第1章 概述

1.1集成电路的发展历程、集成电路的由来

1.2集成电路的分类、按器件导电类型分类、按器件功能分类

1.3集成电路工艺基础、集成电路的材料、二极管、三极管

1.4集成电路的生产环境

实习1 芯片制造设备认识实习基本操作教学

第2章  半导体材料

2.1晶体结构

2.2晶面与晶向

2.3晶体中的缺陷和杂质

2.4单晶硅的制备

2.5晶圆加工

实习1 工艺仿真实验基础及衬底特性分析实验

实习2 氧化工艺分析与应用实验

第3章   薄膜的制备

3.1氧化膜的制备

实习1 氧化炉认识实习

3.2化学气相淀积

3.3外延生长

3.4物理汽相淀积

实习2 物理气相沉积设备认识实习

实习3 金属有机化学气相沉积设备和硅外延设备认识实习

实习4 原子层沉积设备认识实习

第4章  掺杂技术

4.1离子注入

4.2扩散

实习1 离子注入工艺分析与应用实验

实习2 扩散和退火工艺分析与应用实验

实习3 离子注入机认识实习

实习4激光退火设备认识实习

实习5 退火炉、扩散炉和低压化学气相沉积设备认识实习

第5章  光刻技术

5.1光刻材料及设备

5.2光刻工艺

实习1 极紫外光（EUV）光刻机认识实习

5.3刻蚀工艺

实习2金属刻蚀机认识实习

实习3 硅刻蚀机、介质刻蚀机、光刻胶刻蚀机、化合物刻蚀机认识实习

5.4光刻质量检测实验

实习4 槽式清洗机认识实习

实习5沉积、外延、光刻、刻蚀与典型前后道工序实验

第6章 硅平面工艺流程

6.1双极型集成电路工艺流程

6.2MOS工艺

6.3CMOS工艺

6.4Bi-CMOS工艺

实习1 电阻和二极管成套工艺分析实验

实习2 JFET和MESFET成套工艺分析实验

实习3 双极型晶体管成套工艺分析实验

实习4 MOSFET成套工艺分析实验

第7章  金属化与平坦化

7.1欧姆接触

7.2金属布线

7.3金属膜的制备

7.4平坦化

7.5铜金属化

实习1：测试站点

实习2：失效分析

第8章 芯片的识别

8.1了解流程和铝丝压焊机的使用

8.2扩晶机了解

8.3扩晶机的操作（实操）

8.4扩晶时的注意事项

第 9章 刺晶

9.1刺晶时工具的使用

9.2刺晶的注意事项

9.3手动备胶和点胶

第10章 键合机

10.1超声波金丝球压焊机的操作方法

10.2超声波铝丝球压焊机的操作方法

10.3设置参数

10.4芯片键合

第11章 灌胶

11.1调胶的工具使用

11.2灌胶的注意事项

第12章 综合实训

12.1  LED支架的刺晶（实操）

12.2  8位数码管的刺晶（实操）

12.3  LED支架的键合（实操）

12.4  8位数码管的键合（实操）

12.5   灌胶（实操）

12.6   烘烤完后的剪切及检测（实操）

【机构简介】

美德职业培训学校是由人力资源和社会保障局批准设立的一所技能培训学校，学校坐落于厦门市湖里区火炬新科广场，环境优美，交通便利。

学校不断强化“质量立校、人才强校、文化铸校、特色兴校”战略，十分注重师资队伍建设，拥有一支结构合理、业务精湛、经验丰富、德技兼备的师资队伍。学校办学实力雄厚，条件优良，现开设了:工业机器人，PLC编程，半导体芯片制造，新能源汽车维修检测，计算机程序设计，新媒体运营等培训项目。现建有多媒体教室、实训中心、学生公寓、食堂等办学场所，现代化教学设备设施一应俱全。

学校实施“校企合作、工学结合、订单培养”等育人模式，与多家知名企业签订了校企合作协议，保障毕业生能就业，就好业。

学校坚持“以立德树人为根本、以服务发展为宗旨、以促进就业为导向、以提高质量为核心”的指导思想，秉承“以人为本、全面发展”的办学理念，奉行“德技兼修、知行合一”的校训，朝着“特色突出、社会满意、”的办学目标而努力奋斗。

工业机器人培训中心

技能提升基地

【师资简介】

王进老师

毕业于江西理工大学，机械工程专业，硕士学位；

持有电工高级技师证、高级软件开发工程师；

高校讲师、持有高等院校教师资格证、高级中学物理教师资格证。

一、工作经历：

2009-2018年在海南科技职业大学 担任教师、教学副院长

2018-2021年在于都理工服装职业学校担任教学副校长

2021年至今在厦门美德职业培训学校担任校长

二、获奖及成果、著作

2018.10：海南省电子设计大赛一等奖

2018.10：发表核心论文“阐述关于集成运算放大器的教材改进”第1一作者 科学与信息化

2018.05 ：获技能大赛嵌入式项目国赛三等奖

2018.06 ： 发表SCI论文“ The Use Of Op Amp in the Game”第二作者 JOURNAL OF ADVANCED OXIDATION TECHNOLOGIES

2018.06 ：主编教材“电气控制与PLC”

2018.03 ： 获技能大赛嵌入式项目海南省一等奖

2018.03 ：获技能大赛嵌入式项目省优秀指导教师

2017.12 ： 全国大学生电子设计大赛国家二等奖

2017.12 ：海南省大学生电子设计大赛一等奖

2017.12 ： 海南省电子大赛省优秀指导教师

2017.9 ：顶岗实习优秀指导教师

2017.7：获技能大赛汽修项目省二等奖

2017.7：获技能大赛汽修项目省三等奖

2017.1 ：参加省级教改项目 第二主持人

2016.12 ：海南省省级青师赛优秀奖

2016.9：获校级师德师风先进个人

2016.4：发表论文“工业电气自动化的重要性和发展趋势研究”第1作者 科技传播ISSN1674-6708 CN11-5820/N

2016.4：发表论文“电气自动化控制设备可靠性测试的方法探微”第1作者 无线互联科技ISSN1672-6944 CN32-1675/TN

2015.11：全国大学生电子设计大赛国家二等奖

2015.11：海南省大学生电子设计大赛一等奖

2015.11：海南省电子大赛省优秀指导教师

林廷威老师

毕业于福建信息职业技术学院工业机器人技术专业；

持有工业机器人集成应用职业技能等级证书

一、在校期间：

1、参加过“西门子杯”CIMC中国智能制造挑战赛-离散行业自动化方向荣获特等奖；

2、设计基于西门子PLC-1200的多部电梯群控方案及虚拟仿真功能实现；

3、曾获智能制造学院全年奖学金。

二、工作经历：

1、在浙江钱江智能装备有限公司担任电气工程师，从事电气调试工作，参与过自动机加工生产线项目，主要负责机器人自动上下料，伺服电机控制及一些其他辅助配合。例如：日产新宝上下料项目、方太集烟罩自动生产线项目以及其他电气柜辅助安装调试。

2、在威瑞电动汽车新能源电池装配项目，主要负责贴胶检测、机器人引导抓件，相机物品识别。

3、在宁德时代裸电芯检测项目，宁德时代模组线焊后检测项目，主要负责针对现场客户需求对视觉检测软件的调试以及现场PLC程序问题的整改。

4、在九江振邦技工学校担任电工基础、PLC、工业机器人专业教师。

5、在美德职业培训学校担任工业机器人、PLC专业教师，主要负责学员理论课和实训课的传授，具有丰富的教学实战经验。

池京龙老师

毕业于江西新能源科技职业学院工业机器人技术专业。

一、在校期间：

1、参加过“工业机器人技术应用”江西省职业院校技能大赛获奖。

2、参加过“无人车智能挑战赛”中国机器人及人工智能大赛获奖。

二、工作经历：

1、在苏州伊之密担任安调工程师，从事电气调试工作，参与过智能压铸岛项目，主要负责对喷漆机器人和取件机器人的安装调试，及所有设备的通信。以及其他自动化项目的安装与调试如变频器、步进驱动器，PLC主要以三菱Q系列和FX系列；西门子S7-1200；

2、在福建莆田理工技术学校担任工业机器人、PLC、电工基础等专业课程；

3、在厦门美德职业培训学校担任工业机器人、PLC专业教师，主要负责学员理论课和实训课的传授，具有丰富的教学实战经验。

田文国老师

毕业于东华理工大学自动化专业；

持有工业机器人集成应用职业技能等级证书。

一、在校期间：

1、参加过“全国智能电力控制系统设计与应用技能大赛”荣获二等奖；

2、2017年获得国家励志奖学金年奖学金；

3、2017年被评为学校“优秀青年志愿者”；

4、2018年评选为院级“优秀团干”；

5、2018年评为学校“三好学生”荣誉称号；

6、2020年获得东华理工大学“三等奖学金”；

7、2020年被评为东华理工大学“素拓之星”；

8、在校任职学习委员、学生会副主席职位；

二、工作经历：

1、在上饶晶科能源有限公司担任工艺工程师，从事太阳能电池组件生产工艺产品质量工作，参与自动生产线产品工艺项目，主要负责太阳能电池组件如何达到产品质量，对厂内电气设备元器件检查调试是否合格。

2、在成都富士康负责检验平板LOGO大小合格，对机器人检测控制放入检测。

3、在横店东磁集团有限公司负责mess系统通信检修和安装，通过RFID传感器上传到5G通信端然后每台设备相互构成局域本地网发送到后台服务器上传到公司开发得mess系统可以上传产品数据统计和设备故障，通过远端查看设备状态对厂区所有设备、产品数严格把关和统计。

4、在江西赣州安远中等专业学校担任工业机器人、PLC专业教师；

5、在厦门美德职业培训学校担任工业机器人、PLC专业教师，主要负责学员理论课和实训课的传授，具有丰富的理论教学和实战经验。

徐信琳老师

毕业于厦门理工学院机械工程学院机电一体化专业；

持有维修电工高级工、高级工业机器人系统运维员证书。

工作经历：

2011-2022年就职于厦门松兴智能机器人有限公司，公司是松下电焊机、机器人福建区域代理销售服务商，主营松下机器人品牌，专注于焊接、切割及综合应用的技术型企业，同时也有销售发那科、安川等其他工业机器人。在公司主要负责工业机器人的安装、调试、维修、保养、操作培训等售后服务工作。

2022-至今在厦门美德职业培训学校担任工业机器人、PLC专业教师，主要负责学员理论课和实训课的传授，具有丰富的理论教学和实战经验。

林菁老师

毕业于中国传媒大学南广学院音乐传播及播音主持专业；

持有多媒体运营师高级证书、江苏省执业经纪人证书、国家普通话一级证书、初级中学音乐教师资格证书、厦门音乐季国际钢琴公开赛优秀指导教师、亚洲国际音乐交流协会副秘书长。

一、在校期间

1、大学四年担任班长，寝室长。并曾为学生会成员，系女篮队员，校合唱团成员。

2、2008-2009学年获军训标兵荣誉称号。

3、2009-2010 学年获一等奖学金，获优良学风建设积极分子、优秀班干称号。

4、2010-2011 学年获一等奖学金，获评优秀暑期实践报告，担任戏剧企划宣传负责人及总舞台监督。

5、2011-2012学年获一等奖学金，获三好学生称号。

二、工作经历

2009年7月于广东省深圳市爱爱教育中心负责音乐文化推广

2009年8月于福建省南平市广播电台负责音乐节目制作

2010年7月于福建省广播影视集团东南卫视开心100参与节目策划

2012年7月至2013年3月于北京新丽传媒股份有限公司担任宣传策划

2013年5月至2014年5月于福建希望文化传播有限公司从事媒体运营

2014年5月至2017年3月于厦门卫视广告有限公司担任媒介经理

2017年3月至今指尖华彩艺术教育、泛现代音乐中心担任音乐教师

2022年5月成立厦门艺歆文化活动策划工作室，为创始人

2022年10月于厦门美德职业培训学校担任副校长。有丰富的媒体从业经历和教学经验。

安萍老师

毕业于北京语言大学电子技术应用专业；

工作经历：

1、在广东东莞光辉科技有限公司担任光刻技术员，从事芯片生产管理工作，主要负责跟蒸发，刻蚀，清洗各部门进行协调生产工作

2、在清华同方半导体有限公司担任生产组长工作：主要负责人员报道情况，产线生产安排情况及车间6S卫生状况，，每天生产产量是否达标汇报给上面领导；还担任调度专员：主要负责生产产线上所有的物料，及发放每个车间用的物料，每月盘点车间物料库存，仓库库存以及在产线上有多少物料，核算下个月所用到的物料，及提前申购下月物料。

3、在士兰明镓化合物半导体有限公司/生产管理中心芯片生产部/生产领班，主要负责1.协助生产投料执行，保证生产线上按计划流片生产；生产物流配给，保障生产物料供应；生产线的现场管理，监督班长的现场执行力；产线排程，流速管理，依生产调度安排，合理排程，保证制品有序生产；订单跟踪和反馈，确保订单交期准确，员工的日常行为规范，异常信息收集和反馈，重大异常的及时处理，响应及时并规范处理，推动建立跨部门沟通的能力

4、在江西吉安中等专业学校担任芯片专业教师；

5、在厦门美德职业培训学校担任芯片专业老师，主要负责学员理论课和实训课的传授，具有丰富的理论教学和实战经验。

【教学现场】

上课现场

培训现场

讲解现场

【机构环境】

机构环境

教学环境

教室

课室

设备